本發(fā)明涉及在環(huán)境透射電子顯微鏡(ETEM)中的活性氣氛中研究樣品的方法。這樣的研究被用于研究樣品與氣體的反應(yīng)(化學(xué)的或物理的)。特別所關(guān)心的是氣體和催化劑的化學(xué)反應(yīng),以及例如源自在固體上生長的氣相的晶須的生長的物理變化(相變)?,F(xiàn)有技術(shù)研究涉及將所述樣品引入到ETEM的樣品室內(nèi)的側(cè)面進入樣品支持器上、將所述樣品加熱到所需的溫度、等待所述樣品安定到無漂移位置并且隨后將所述樣品暴露于經(jīng)加熱的活性氣體的例如10mbar的壓力。因為所述樣品支持器的溫度分布隨氣體的溫度和壓力而變,當(dāng)將所述樣品支持器暴露于所述氣體時,所述樣品支持器之上的溫度分布將輕微地改變,作為其結(jié)果,所述樣品將漂移。為了避免所述漂移,或者至少最小化所述漂移,本發(fā)明涉及在將所述惰性氣體交換為所述活性氣體之前在所期望的溫度下暴露到惰性氣體。本發(fā)明也可應(yīng)用于光學(xué)顯微鏡、X-射線顯微鏡或掃描探測顯微鏡。
聲明:
“在ETEM中研究樣品的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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