本發(fā)明涉及氣體敏感霍爾設(shè)備。本文描述了化學(xué)敏感霍爾設(shè)備。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例，霍爾設(shè)備包括襯底和布置在襯底上的化學(xué)敏感層?；瘜W(xué)敏感層能夠與氣態(tài)或液體流體的原子或分子相互作用。力電極連接到化學(xué)敏感層，以用于沿第一方向?qū)鞲衅麟娏黟佀屯ㄟ^化學(xué)敏感層。感測電極連接到化學(xué)敏感層，以沿第二方向分接化學(xué)敏感層處的霍爾電壓。背柵布置在襯底上或集成在襯底中，并且通過隔離層與化學(xué)敏感層隔離。