一種減少晶邊研磨顆粒殘留的裝置，包括氫氟酸酸槽、節(jié)流閥、機(jī)臺(tái)化學(xué)柜、流量偵測(cè)器、第一氫氟酸噴頭以及第二氫氟酸噴頭，其中，氫氟酸酸槽通過輸送管線與機(jī)臺(tái)化學(xué)柜連通，并且與氫氟酸酸槽連通的輸送管線上設(shè)置有節(jié)流閥，機(jī)臺(tái)化學(xué)柜與第一氫氟酸噴頭以及第二氫氟酸噴頭通過輸送管線連通，與第一氫氟酸噴頭以及第二氫氟酸噴頭連通的輸送管線上設(shè)置有流量偵測(cè)器，流量偵測(cè)器通過輸送管線分別與第一氫氟酸噴頭以及第二氫氟酸噴頭連通，第一氫氟酸噴頭位于待處理晶圓的晶面上方，第二氫氟酸噴頭位于待處理晶圓晶面的側(cè)部。操作時(shí)第一氫氟酸噴頭和第二氫氟酸噴頭對(duì)晶圓的表面以及晶邊進(jìn)行全面的清洗，減少研磨液殘留，提升產(chǎn)品良率。