本發(fā)明公開了一種制備微納米流體系統(tǒng)的方法。該方法,包括如下步驟:1)在基底上制備薄膜熱電偶陣列,得到薄膜熱電偶陣列層;2)在所述步驟1)制備得到的薄膜熱電偶陣列層上制備一層絕緣層a,并在所述絕緣層之上制備一層場調(diào)制層;3)在所述步驟2)制備得到的場調(diào)制層上制備一層絕緣層b,并將所述絕緣層b上制備一層微納米通道層,封裝后得到所述微納米流體系統(tǒng)。本發(fā)明制作的微納米流體測試系統(tǒng)帶有局域溫度測量與控制、可進(jìn)行直流及高頻電磁測量。該系統(tǒng)功能多樣、結(jié)構(gòu)緊湊且測試精度高,在物理、化學(xué)、生物等研究領(lǐng)域都有很好的應(yīng)用前景。
聲明:
“微納米流體系統(tǒng)及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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