本發(fā)明提供了一種銅互連電鍍填充效果的評(píng)價(jià)方法,包括如下步驟:利用一種表面形成圖形化的金屬電極測(cè)
電化學(xué)曲線;利用一種平面的金屬電極測(cè)電化學(xué)曲線;比較上述兩種電化學(xué)曲線,評(píng)價(jià)鍍銅液的填充效果;調(diào)整電鍍銅液的組分濃度和金屬電極表面圖形的直徑和深度,重復(fù)上述各個(gè)步驟,評(píng)價(jià)不同的鍍液組分在一種銅互連溝道及通孔中的填充效果以及一種鍍液組分在不同的銅互連溝道及通孔中的填充效果。本發(fā)明方法操作簡(jiǎn)單、方便,不但可以評(píng)價(jià)鍍液在與金屬電極表面的圖形相似的銅互連溝道及通孔中的填充效果,而且還可以評(píng)價(jià)不同的鍍液組分在一種銅互連溝道及通孔中的填充效果以及一種鍍液組分在不同的銅互連溝道及通孔中的填充效果。
聲明:
“銅互連電鍍填充效果的評(píng)價(jià)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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