一種傳感器,包括微制造
芯片,表面上形成有一個或多個腔,所述腔包括感測元件,一個或多個蓋子,每個蓋子覆蓋所述表面以封閉所述腔中的至少一個,所述蓋子接觸在所述表面上界定所述腔的邊緣。電路部分每個連接相應(yīng)的一個蓋子,以允許蓋子響應(yīng)于暴露于
電化學溶液部分地電化學溶解。此外,掩蔽材料部分在邊緣的水平處覆蓋蓋子的外圍區(qū)域以便在操作中密封蓋子并保護這些外圍區(qū)域免受所述電化學溶液的影響。可以提供相關(guān)的裝置和感測方法。
聲明:
“具有可編程傳感腔的生物傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)