本發(fā)明 涉及化學(xué)汽相沉積技 術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及用 化學(xué)沉積法合成超硬 度的晶態(tài)C3N4材料及 其方法,本發(fā)明的目的 在于制備一種理論預(yù) 測到的新超硬晶態(tài)α 和β相氮化碳材料,和 提供一種用偏壓輔助 熱絲化學(xué)氣相沉積法 生長晶態(tài)C3N4材料的 方法,該方法工藝簡單, 易于掌握擴(kuò)大工業(yè)生產(chǎn)。
聲明:
“晶態(tài)α和β相氮化碳薄膜材料及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)