本發(fā)明實(shí)施例提供了一種修復(fù)掩模的方法。該方法包括檢查掩模以識(shí)別掩模上的缺陷;對掩模使用非熱化學(xué)溶液來對掩模實(shí)施清洗工藝;以及修復(fù)掩模以從掩模去除缺陷。通過冷卻模塊冷卻非熱化學(xué)溶液至室溫以下的工作溫度。本發(fā)明實(shí)施例涉及利用非熱溶液用于遠(yuǎn)紫外掩模清洗的方法和系統(tǒng)。
聲明:
“利用非熱溶液用于遠(yuǎn)紫外掩模清洗的方法和系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)