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硅片清洗設備以及儲液罐

693 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:17:28

本發(fā)明實施例公開了一種儲液罐，包括主罐體和顯液管，顯液管一端開口，另一端與主罐體相連通，顯液管與主罐體之間還設置有可全部或部分展開并將上述二者分隔開來的膠囊體。上述儲液罐中在主罐體和顯液管之間設置有可展開的膠囊體，膠囊體將主罐體和顯液管分隔成兩部分。當需要觀察主罐體上化學藥劑的高度時，在顯液管的開口處注入測量液，當主罐體內(nèi)化學藥劑高度發(fā)生變化時，膠囊體展開或者閉合，顯液管中的測量液高度隨即發(fā)生變化。由于上述儲液罐中主罐體和顯液管可注入不同的液體，且顯液管可注入易分辨、清洗的測量液，因此可以避免由于顯液管和主罐體采用同一液體容易產(chǎn)生沾污物的現(xiàn)象發(fā)生。本發(fā)明實施例還提供了一種硅片清洗設備。

聲明：

“硅片清洗設備以及儲液罐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)