該實用新型涉及供液裝置,能夠提升液體化學品在傳輸過程中的流量測量準確度,提升傳輸?shù)姆€(wěn)定性,提升使用效果。為解決上述技術(shù)問題,以下提供了一種供液裝置,包括:供液箱,用于提供待運送的液體化學品;供液管路,用于連通所述供液箱以及目標機臺,以將所述供液箱內(nèi)的液體化學品運輸?shù)剿瞿繕藱C臺;排泡管路,一端連通至所述供液管路,另一端用于連通至外界,以排出所述供液管路內(nèi)運輸?shù)囊后w化學品內(nèi)的氣泡。
聲明:
“供液裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)