本發(fā)明公開了一種真空隔熱的MEMS流量傳感器及其制作方法,該流量傳感器包括:襯底,設(shè)有真空密閉隔熱腔體;第一介質(zhì)層,形成于襯底的上表面;加熱元件、感溫元件及金屬電極,形成于第一介質(zhì)層的上表面,其中感溫元件對稱分布在加熱元件的兩側(cè),加熱元件及感溫元件局部位于隔熱腔體的上方;第二介質(zhì)層,覆蓋加熱元件、感溫元件、金屬電極及通孔,且局部刻蝕出接觸孔。本發(fā)明的MEMS流量傳感器利用低壓力化學(xué)氣相沉積法的“保形效應(yīng)”形成真空密閉隔熱腔體,一方面可提高隔熱腔體的隔熱性能,另一方面可減少被測流體與隔熱腔體之間的對流熱損失,從而有利于降低器件功耗,并增大上下游感溫元件之間的溫差,有效提高器件靈敏度。
聲明:
“真空隔熱的MEMS流量傳感器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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