本發(fā)明公開了一種具有自極化效應(yīng)的鈮鎂酸鉛-鈦酸鉛鐵電薄膜材料的制備方法,該方法是采用化學(xué)溶液沉積法:溶液由醋酸鉛、醋酸鎂、乙醇鈮、正丁醇鈦、乙二醇甲醚和乙酰丙酮組成,配制成0.1-0.3M的前驅(qū)體溶液;采用旋轉(zhuǎn)鍍膜方式得到凝膠膜,然后在快速退火中分段進(jìn)行熱處理,形成薄膜材料;重復(fù)該過程,直至得到理想厚度的薄膜材料。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:整個(gè)工藝過程操作簡便、成本較低、可制備大面積均勻薄膜。采用本發(fā)明方法在LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si基片上得到的薄膜,經(jīng)測量不施加偏場時(shí)的熱釋電系數(shù)可達(dá)1.6×10-8Ccm-2K-1。
聲明:
“具有自極化效應(yīng)的鈮鎂酸鉛-鈦酸鉛鐵電薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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