本發(fā)明提供了一種基于
石墨烯的標(biāo)準(zhǔn)漏孔及制備方法,用以解決現(xiàn)有技術(shù)中檢漏系統(tǒng)校準(zhǔn)時漏率不穩(wěn)定、存在泄漏的問題。所述基于石墨烯的標(biāo)準(zhǔn)漏孔包括氣源室、滲氦組件和金屬刀口法蘭,滲氦組件包括滲透部和固定部,氣源室與滲透部一側(cè)連通,滲透部另一側(cè)與待校準(zhǔn)檢漏系統(tǒng)的真空室連通,且兩側(cè)連通處均通過金屬刀口法蘭密封;滲透部依次由垂直于固定部的壓力側(cè)石英玻璃、銅箔、石墨烯薄膜和真空側(cè)石英玻璃貼合組成;石墨烯薄膜為多孔或有缺陷的石墨烯;銅箔的壓力側(cè)貼合有石墨烯薄膜,真空側(cè)具有化學(xué)腐蝕形成的通孔。本發(fā)明消除了漏孔的氣體泄漏,提高了漏率的穩(wěn)定性;且漏率達(dá)10
?14Pa·m
3/s,提高了質(zhì)譜檢漏的校準(zhǔn)準(zhǔn)確度和精度。
聲明:
“基于石墨烯的標(biāo)準(zhǔn)漏孔及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)