本發(fā)明提供一種液體供給方法,其中,當通過將微量的化學品等供應至超純水中來制備能用作洗滌水等的溶液時,所供應的供給液的量可以精確地測定。在該液體供給方法中,通過將供給液供應至在主流體流通管(2)中流通的主流體中來制備溶液。該液體供給方法使用的液體供應裝置(1)包括:輸送供給液的供給部(3);和使供給液從供給部(3)流到主流體流通管(2)的供給液流通管(4),供給液流通管(4)的內直徑在0.01和1mm之間。當通過供給液流通管(4)將供給液從供給部(3)供應至主流體流通管(2)時,供給部(3)的供給液壓強P1和主流體流通管中的主流體壓強P2滿足式P1-P2>0。
聲明:
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