研磨制品,其包含選自無機(jī)顆粒、有機(jī)顆粒和無機(jī)-有機(jī)混雜顆粒(a1)的固體磨料顆粒(A),其具有根據(jù)激光衍射測(cè)得的為1-500nm平均初級(jí)粒度且具有與其表面化學(xué)鍵接的給電子基團(tuán)(a2)。所述固體磨料顆粒(A)分布于整個(gè)固體基體(B)中或分布于其上,或者分布于整個(gè)固體基體(B)中且分布于其上。提供了一種制備研磨制品的方法和一種對(duì)用于制造電氣和光學(xué)器件的基材進(jìn)行加工的方法。所述方法使用所述研磨制品。
聲明:
“研磨制品,其制備方法及其應(yīng)用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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