本發(fā)明公開了一種基于Li3PO4?Li4SiO4混合固體電解質(zhì)的電勢型氣體傳感器及其制備方法,在Al2O3陶瓷基底上通過絲網(wǎng)印刷的方法制作膜式Pt電阻測溫電極和Pt加熱電極,在Al2O3陶瓷基底的拋光面通過電子束蒸發(fā)鍍膜工藝沉積Li3PO4?Li4SiO4混合固體電解質(zhì)薄膜,采用磁控濺射方法沉積電極Au薄膜,并在一個電極Au薄膜表面印刷化學(xué)材料,最終形成固體電解質(zhì)的電勢型氣體傳感器。所述傳感器使用一種Li3PO4?Li4SiO4混合固體電解質(zhì)層,其離子導(dǎo)電性在較低溫度下就能達(dá)到Li3PO4固體電解質(zhì)在較高溫度時的水平;并設(shè)計了閉環(huán)溫控系統(tǒng),實現(xiàn)了降低傳感器工作溫度、降低功耗、加快響應(yīng)速率、加強輸出穩(wěn)定性、時控制并輸出等多方面功能的改善。
聲明:
“基于Li3PO4-Li4SiO4混合固體電解質(zhì)的電勢型氣體傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)