本發(fā)明屬于光電子器件領(lǐng)域,具體涉及一種用于紅外光電的復(fù)合結(jié)構(gòu)鉛鹽薄膜及其制備方法?;?、物理氣相沉積法制備的鉛鹽晶粒層、化學(xué)法制備的小晶粒鉛鹽;所述鉛鹽晶粒層覆在所述基底上,鉛鹽晶粒之間存在縫隙;所述小晶粒鉛鹽嵌入所述縫隙之中;所述鉛鹽薄膜為硫化鉛或硒化鉛;所述基底為石英襯底或藍(lán)寶石襯底或含氧化層硅片;所述制備方法是通過物理氣相沉積法及化學(xué)法相結(jié)合而制成。本發(fā)明提供的復(fù)合結(jié)構(gòu)鉛鹽薄膜結(jié)構(gòu)更加致密,均勻性高;退火處理后的復(fù)合結(jié)構(gòu)鉛鹽薄膜作為光電探測器噪聲小,比探測率高,制備方法耗時短,工藝簡單。
聲明:
“用于紅外光電的鉛鹽薄膜結(jié)構(gòu)及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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