一種等離子體輔助硒硫化處理裝置,設(shè)置于真空室內(nèi),包括殼體、陰極板和陽(yáng)極板,陰極板和陽(yáng)極板交替疊放形成等離子體發(fā)生器,陰極板設(shè)有固定半導(dǎo)體薄膜基板的溝槽,陽(yáng)極板表面均布小孔并設(shè)有輸氣管、獨(dú)立內(nèi)加熱電極和陽(yáng)極測(cè)溫點(diǎn)基于該處理裝置的工藝為:1)在半導(dǎo)體薄膜材料上按化學(xué)式配比預(yù)制金屬層,然后放入陰極板的溝槽中;2)將其置于真空室內(nèi)抽真空,打開(kāi)電源加熱陰極板和陽(yáng)極板,啟動(dòng)等離子體發(fā)生器電源,并通入硒或硫、氫、氬混合氣體。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn):硒原子的反應(yīng)活性高,金屬預(yù)制層的硒化反應(yīng)完全,光電轉(zhuǎn)換效率高;基片的加熱溫度低,不易變形;采用電子方式監(jiān)控兩電極間容抗的變化,了解轉(zhuǎn)化的進(jìn)展,減少工業(yè)化生產(chǎn)的廢品率。
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“等離子體輔助硒硫化處理裝置及工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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