本發(fā)明一種零偏壓工作
石墨烯光電器件及其制備方法,包括以下步驟:(1)利用化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)制備石墨烯薄膜;(2)轉(zhuǎn)移所述石墨烯薄膜至預(yù)先制備的氧化襯底表面;(3)在所述石墨烯薄膜表面圖案化形成石墨烯條帶結(jié)構(gòu);(4)在所述石墨烯薄膜表面的兩端沉積金屬形成兩個(gè)金屬電極;(5)在所述石墨烯薄膜經(jīng)圖案化的表面進(jìn)行量子點(diǎn)圖案化。通過(guò)此制備方法得到的一種能在沒(méi)有外接偏壓下工作的石墨烯光電器件,有效避免石墨烯光電器件在偏壓下工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生極大的暗電流,影響器件的壽命和測(cè)量精度的問(wèn)題,通過(guò)將量子點(diǎn)精確的覆蓋在我們想要的區(qū)域,工藝流程簡(jiǎn)單,與半導(dǎo)體微納技術(shù)緊密結(jié)合,具有很強(qiáng)的實(shí)用性。
聲明:
“零偏壓工作石墨烯光電器件及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)