一種增強過程和輪廓模擬器算法的方法,其可預(yù)測一個特定等離子過程將生成的表面輪廓。首先,高能粒子被跟蹤,然后,這種高能粒子產(chǎn)生的離子通量被記錄下來。根據(jù)同時求解的中性通量、表面化學(xué)覆蓋和表面材料類型便可計算出局部刻蝕速率和局部堆積速率。
聲明:
“增強過程和輪廓模擬器的算法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)