本發(fā)明揭示了一種
碳納米管陣列有機(jī)污染物傳感器及用途,先利用化學(xué)氣相沉積或交流電泳的方法在襯底上制成金屬性和半導(dǎo)體性混合的定向單壁碳納米管陣列;繼而采用過(guò)載電流燒毀碳納米管陣列中的金屬性碳納米管并采用金屬納米顆粒修飾所得到的半導(dǎo)體性碳納米管陣列;最后在金屬納米顆粒修飾后的碳納米管陣列表面光刻或金屬膜沉積交叉指電極。該傳感器完全是半導(dǎo)體碳納米管陣列結(jié)構(gòu),具有實(shí)現(xiàn)室溫環(huán)境下場(chǎng)效應(yīng)的性能,能夠提高器件對(duì)各種有機(jī)分子的識(shí)別和選擇性,可用于對(duì)室內(nèi)外或太空中NO、NO2及苯系物有機(jī)污染氣體的靈敏探測(cè)。
聲明:
“碳納米管陣列有機(jī)污染物傳感器及用途” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)