本發(fā)明公開了一種環(huán)境穩(wěn)定的超高品質(zhì)因子光學(xué)微腔及其制備方法。本發(fā)明的環(huán)境穩(wěn)定的超高品質(zhì)因子光學(xué)微腔是通過化學(xué)氣相沉積法在回音壁模式光學(xué)微腔表面沉積硅烷偶聯(lián)劑層后得到，所述回音壁模式光學(xué)微腔的表面經(jīng)過化學(xué)修飾從而形成不受環(huán)境影響的穩(wěn)定結(jié)構(gòu)。其中，硅烷偶聯(lián)劑為疏水性硅烷偶聯(lián)劑，硅烷偶聯(lián)劑中的水解基團(tuán)與微腔表面的羥基發(fā)生水解反應(yīng)，硅烷分子被修飾到微腔表面，光學(xué)微腔表面形成疏水性化學(xué)鍵。本發(fā)明的光學(xué)微腔經(jīng)測(cè)試，在相對(duì)濕度為35％和75％的環(huán)境中，經(jīng)過兩周時(shí)間，品質(zhì)因子Q值仍能保持108以上。因此，本發(fā)明的光學(xué)微腔的品質(zhì)因子具有良好的環(huán)境穩(wěn)定性，具有廣泛的應(yīng)用前景。