本發(fā)明公開了一種高溫箔式應變計及其制造方法,包括敏感柵(2)、引線(4)、臨時框架(5)三部分。通過膠粘劑或熱熔將臨時基底(1)與金屬合金箔熱合層壓,利用光刻、化學蝕刻或激光蝕刻而成。通過機械、化學、激光等方式調(diào)整敏感柵(2)電阻值達到目標阻值。通過化學方式將臨時基底(1)溶化或去除翻轉到臨時框架(3)上,使應變計敏感柵部分裸露。最后采用熱熔焊、電阻焊、超聲焊等方式將焊盤與引線(4)熔融緊密相連,形成高溫箔式應變計。本發(fā)明高溫箔式應變計具有多種電阻值,電阻分散性不大于±1%,具有單軸、雙軸和多軸敏感柵結構,滿足400~1100℃范圍類應力應變穩(wěn)定可靠測量。
聲明:
“高溫箔式應變計及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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