基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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噴砂砂刻批量生產微流控芯片工藝

1022 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:20:19

本發(fā)明公開了一種噴砂砂刻批量生產微流控芯片工藝，具體包括以下步驟：S1：原材：對原材料進行清洗并干燥；S2：涂膠：在材料表面涂裝或者封裝感光類薄膜；S3：光刻：在材料表面光刻出需要砂刻的微流控通道圖形；S4：觀影：經過圖形現影法，露出原材料的表面；S5：噴砂：將材料用治具定位裝夾在噴砂機上進行噴砂；S6：檢驗：對噴砂完成后的材料進行檢驗是否合格。本發(fā)明公開的噴砂砂刻批量生產微流控芯片工藝具有安全環(huán)保，以砂粒取代劇毒、有毒化學物質，噴射蝕刻取代傳統(tǒng)藥水浸泡蝕刻的方式，更加安全環(huán)保，并且成本交底，且具備量產性，在密閉的工作腔內，可快速批量加工出微流控圖形的技術效果。

聲明：

“噴砂砂刻批量生產微流控芯片工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)