本發(fā)明公開了一種采用石蠟外邊框掩膜法制備太陽電池的方法,包括下述步驟:(1)制絨硅片形成光陷阱表面;(2)在絨面上擴散摻雜形成PN結(jié);(3)在擴散面上打印上起掩蔽作用的石蠟掩膜;(4)在覆蓋掩膜的片子上覆蓋水膜;(5)利用化學液去除硅片周邊和背面多余的PN結(jié);(6)利用化學液對硅片表面進行刻蝕;(7)去除石蠟掩膜;(8)磷硅玻璃的去除;(9)鍍氮化硅膜;(10)印刷背面電極和背場;(11)在石蠟掩膜對應(yīng)位置處印刷銀電極;(12)燒結(jié),測試電性能。本發(fā)明采用上述方法制備太陽電池時,能有效避免水膜覆蓋不良而影響硅片質(zhì)量的問題,同時還能確保銀電極的印刷位置精確對準,從而提升
電池片的轉(zhuǎn)換效率。
聲明:
“采用石蠟外邊框掩膜法制備太陽電池的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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