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磁阻器件、巨磁阻器件及其制造方法

754   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:23:04
公開了一種磁阻傳感器(30)和一種用電化學(xué)淀積來生產(chǎn)磁阻傳感器(30)的方法。用導(dǎo)電涂層(12)涂敷絕緣基底(11),以準(zhǔn)備電化學(xué)淀積、電鍍用的絕緣基底。導(dǎo)電涂層(112)稍后被圖形化,以防止金屬區(qū)短路。用金屬層(131)和磁性合金對(duì)導(dǎo)電涂層進(jìn)行電鍍。對(duì)此層進(jìn)行腐蝕以形成4個(gè)被互連成惠斯登電橋(473)結(jié)構(gòu)的分隔開的區(qū)域,以便形成能夠探測外加磁場(100)變化的傳感器。在某些實(shí)施例中,為了提高傳感器的靈敏度,各個(gè)磁性層被非磁性層(114)分隔開。在其它的實(shí)施例中,增加了磁極片元件,以便將磁場聚焦到4個(gè)區(qū)域中的二個(gè)上。
聲明:
“磁阻器件、巨磁阻器件及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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