本發(fā)明屬于材料測試領(lǐng)域,具體為一種可定位薄區(qū)位置的透射電鏡樣品制備裝置和方法。包括
電化學(xué)反應(yīng)單元,原位觀察單元,樣品安裝單元,拋光定位單元,圖像采集單元和控制系統(tǒng);電化學(xué)反應(yīng)單元采用陰極拋光針對與陽極連接的樣品的電解拋光;原位觀察單元用于觀察樣品的側(cè)面和正面,確定并定位陰極拋光針相對樣品表面的距離;試樣安裝單元用于安裝樣品,并調(diào)節(jié)樣品的位置;拋光定位單元用于調(diào)節(jié)陰極拋光針相對于樣品表面的位置和距離;圖像采集單元用于采集樣品的實(shí)時圖像并顯示于控制系統(tǒng)。本發(fā)明具有在局部電解拋光過程中不會引入離子注入的特點(diǎn),可以實(shí)現(xiàn)對于需要拋光區(qū)域進(jìn)行精準(zhǔn)定位等優(yōu)點(diǎn),為微尺度樣品的結(jié)構(gòu)表征提供新的樣品制備方法。
聲明:
“可定位薄區(qū)位置的透射電鏡樣品制備裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)