一種電鍍銀電極太陽(yáng)電池制備方法,包括:一:對(duì)硅片拋光處理;二:采用HF/HON3腐蝕的方法進(jìn)行硅片表面的絨面制作,化學(xué)清洗及甩干;三:在電池正反面同時(shí)進(jìn)行磷摻雜,完成PN結(jié);四:使用In-line式酸法腐蝕設(shè)備完成邊緣PN結(jié)的隔離,去除表面的磷硅玻璃;五:在電池正反面同時(shí)進(jìn)行熱氧化,進(jìn)行SiO2膜的制備;六:用PECVD在電池正反面進(jìn)行SiN膜的制備;七:電池正反面進(jìn)行正面銀電極和背面銀電極的制作;八:完成銀硅合金的合金化;九:完成
電池片的初步測(cè)試,包括功率測(cè)試,導(dǎo)電性能測(cè)試,強(qiáng)度測(cè)試;十:對(duì)電池正反面的銀電極同時(shí)鍍銀,增加?xùn)啪€的高度;十一:對(duì)電鍍后的片子進(jìn)行烘干;十二:對(duì)電池進(jìn)行第二次效率測(cè)試并分檔包裝。成本低,制備方便可靠。
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