本發(fā)明公開了一種用于氮化鋁晶體的濕法腐蝕裝置,通過熔融NaOH?KOH低共融混合物對氮化鋁晶體進(jìn)行濕法腐蝕,裝置包括用于盛放熔融NaOH?KOH低共融混合物的坩堝、設(shè)于坩堝中的用于放置氮化鋁晶體的隔網(wǎng)、包覆在坩堝側(cè)向周部的隔熱套、設(shè)于坩堝底部的加熱機構(gòu)、用于實時測量坩堝中熔融NaOH?KOH低共融混合物溫度的測溫機構(gòu)。本發(fā)明一種用于氮化鋁晶體的濕法腐蝕裝置,通過使用金屬鎳材料制成的坩堝和隔網(wǎng),耐腐蝕性高,基本杜絕腐蝕反應(yīng)以外的其他化學(xué)反應(yīng),保證了腐蝕的質(zhì)量,安全性高;通過設(shè)置測溫機構(gòu),熱電偶浸入熔融NaOH?KOH低共融混合物內(nèi)部,所測溫度為實時溫度,對腐蝕的溫度參數(shù)控制準(zhǔn)確。
聲明:
“用于氮化鋁晶體的濕法腐蝕裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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