本發(fā)明公開了一種基于MEMS技術(shù)的金剛石海水鹽度傳感器,包括本征金剛石絕緣襯底、摻雜金剛石陣列電極、電極引線和水密絕緣封裝結(jié)構(gòu),所述摻雜金剛石陣列電極位于本征金剛石絕緣襯底與海水接觸的一側(cè),水密絕緣封裝結(jié)構(gòu)位于本征金剛石絕緣襯底的另一側(cè),電極引線一端穿過水密絕緣封裝結(jié)構(gòu)與摻雜金剛石陣列電極相連,另一端與后端測量電路相連;所述摻雜金剛石陣列電極包括四列探測電極,內(nèi)部兩列探測電極為信號采集電極,外部兩列探測電極為信號輸入電極,本發(fā)明所公開的電導(dǎo)率傳感器滿足微型化的要求,化學(xué)穩(wěn)定性高,抗生物附著能力強,穩(wěn)定工作壽命長。 1
聲明:
“基于MEMS技術(shù)的金剛石海水鹽度傳感器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)