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帶有柵壓調制功能的超薄封裝微流體系統(tǒng)及其制備方法

709 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:28:34

本發(fā)明公開了一種帶有柵壓調制功能的超薄封裝微流體系統(tǒng)及其制備方法與應用。該系統(tǒng)，由上至下依次為保護層、頂柵壓電極層、膜封裝層、微米通道層、測試電極層、絕緣層、底柵壓電極層、基底和固定插管基座，且所述膜封裝層、微米通道層和絕緣層形成微米通道腔，所述測試電極層位于所述微米通道腔的內底部，所述固定插管基座與注入管配伍，且所述注入管與所述微米通道腔相通。該系統(tǒng)以簡易超薄封裝技術為基礎，帶有高頻測試和柵壓調制功能。該系統(tǒng)功能新型、結構緊湊且測試精度高，在微流體物理、精細化學、生物等研究領域都有很好的應用前景。

聲明：

“帶有柵壓調制功能的超薄封裝微流體系統(tǒng)及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)