本發(fā)明公開了一種報(bào)廢光刻掩膜版的回收處理方法,包括:將報(bào)廢光刻掩膜版表層的鉻金屬層用酸性腐蝕液腐蝕掉,得到膜版基底;用去離子水沖洗膜版基底表面;對(duì)膜版基底的雙面表層進(jìn)行襯底級(jí)的CMP化學(xué)拋光;將拋光后檢驗(yàn)合格的膜版基底做鍍鉻前預(yù)清洗,先用酸洗,再用去離子水沖洗,然后用堿洗,再用去離子水沖洗,酸堿清洗重復(fù)多次;在膜版基底表面鍍一定厚度的鉻層,制作新的光刻掩膜版。通過對(duì)報(bào)廢膜版基底的優(yōu)化處理,從而使報(bào)廢的膜版得到再次利用,不僅解決了行業(yè)資源的浪費(fèi),而且還變相的降低了生產(chǎn)成本??梢源蟠筇岣吖饪贪娴姆磸?fù)利用次數(shù),工藝簡(jiǎn)單,適合大規(guī)模批量生產(chǎn)。
聲明:
“報(bào)廢光刻掩膜版的回收處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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