用質(zhì)子交換制造鈮酸鋰光波導(dǎo)的方法及其裝置, 主要包括清洗襯底片、在襯底片上制備掩膜、光刻出波導(dǎo)圖形、 質(zhì)子交換、退火、端面拋光、波導(dǎo)調(diào)整與檢查步驟。本發(fā)明由 于將質(zhì)子交換的質(zhì)子源采用用苯甲酸鋰稀釋的苯甲酸混合溶 液,根據(jù)質(zhì)子交換的化學(xué)反應(yīng)原理,在苯甲酸中摻入苯甲酸鋰 增加了溶液中鋰離子濃度,改變了反應(yīng)中H+到Li+的平衡,使H+濃度降低,由此降低了反應(yīng)速度和鋰離子交換量,使波導(dǎo)與襯底的折射率差減小。結(jié)合退火得到更適于與光纖耦合的折射率分布,同時(shí)使苯甲酸的腐蝕作用降低,減少了波導(dǎo)缺陷,降低了波導(dǎo)自身的損耗。
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