本發(fā)明公開的一種基于超穎表面的光纖濕度傳感器及其制作方法,屬于傳感和測量應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明公開的光纖傳感器主要由光纖、粘接劑、超穎表面和增敏物質(zhì)組成。通過粘接劑將光纖端面和超穎表面固定在一起。增敏物質(zhì)涂覆在超穎表面上。超穎表面由具有長方形橫截面的不同尺寸、不同方位角的納米孔陣列構(gòu)成。所述光纖傳感器采用具有不同旋轉(zhuǎn)角度的金屬微納結(jié)構(gòu)產(chǎn)生多個(gè)具有不同折射率靈敏度的諧振峰,通過監(jiān)測諧振峰特征參數(shù)的變化能夠?qū)崿F(xiàn)多個(gè)傳感參數(shù)的測量。本發(fā)明的制作方法有助于降低纖端光纖傳感器的制作成本和制作周期。本發(fā)明具有小有效傳感面積、多諧振峰、高魯棒性的優(yōu)點(diǎn),應(yīng)用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療和化學(xué)生物等領(lǐng)域。
聲明:
“基于超穎表面的光纖濕度傳感器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)