本發(fā)明涉及一種用于分離兩個(gè)氣室的氣閘,該氣閘使得可以以最小的空間在不接觸產(chǎn)品/離析物/輸送系統(tǒng)的情況下實(shí)現(xiàn)氣體分離。根據(jù)本發(fā)明的氣閘的特征在于,集成用于測(cè)量至少一個(gè)物理和/或化學(xué)特性的測(cè)量室。本發(fā)明同樣涉及一種涂覆裝置,它包括根據(jù)本發(fā)明的氣閘。此外,本發(fā)明還給出了所公開(kāi)的氣閘的可能的用途。
聲明:
“氣閘和帶有氣閘的涂覆裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)