本實用新型公開了一種12寸晶元去氣泡抽真空烤箱,包括箱體,所述箱體前側(cè)設(shè)有單扇門,所述單扇門一側(cè)設(shè)有控制箱,所述控制箱上設(shè)有操作面板,所述操作箱上設(shè)有顯示屏。本實用新型通過采用不銹鋼材料的工作室,便于清潔衛(wèi)生,使用空間大,采用硅橡膠材料制成的密封條,人性化的環(huán)保意識,保護使用人員的身體健康,設(shè)有進氣電磁閥和手動調(diào)壓閥氣路輔助裝置,同時利用抽氣管進行氮氣填充,利用氮氣不活潑的化學(xué)性質(zhì),提升了使用時的安全性,通過采用數(shù)字式的電阻真空計配合壓力傳感器,利用工作室內(nèi)氣體分子的熱傳導(dǎo),在高壓時,利用氣體分子的對流傳熱特性,使得電阻規(guī)的電阻隨所測系統(tǒng)的壓強變化而變化,從而提高了測量精度。
聲明:
“12寸晶元去氣泡抽真空烤箱” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)