一種用于半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備,所述制造設(shè)備包括:旋轉(zhuǎn)卡盤(pán),其被配置為固定并旋轉(zhuǎn)晶圓;噴嘴,其被配置為朝向晶圓噴灑化學(xué)試劑;橫向位移傳感器,其被配置為在旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)正被旋轉(zhuǎn)的同時(shí)測(cè)量到的晶圓的側(cè)表面位移變化;以及控制器,其被配置為在旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)正被旋轉(zhuǎn)的同時(shí)通過(guò)使用位移變化來(lái)控制噴嘴的位置。
聲明:
“用于半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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