本發(fā)明公開(kāi)了一種形貌參數(shù)可控的微納探針批量制備裝置，機(jī)械裝置部分包括z軸電機(jī)模組、x軸電機(jī)模組、電解反應(yīng)模塊、電解反應(yīng)槽、清洗槽、絕緣處理槽、多通道微探針夾持模組；控制器包括微處理器、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器、動(dòng)態(tài)細(xì)分控制器、電解控制模塊、多通道DA轉(zhuǎn)換器、人機(jī)交互控制器。本發(fā)明兼顧了電機(jī)運(yùn)動(dòng)的速度和精度，能夠讓電機(jī)在長(zhǎng)距離快速運(yùn)動(dòng)和短距離高精度移動(dòng)；采用工序轉(zhuǎn)移模組和工藝平臺(tái)分立移動(dòng)設(shè)計(jì)，單次能夠完成多根微納探針的制備；并提高了控制精度，具有高效、高成品率和易用性特點(diǎn)。本發(fā)明還設(shè)計(jì)了一種電壓預(yù)測(cè)控制算法，實(shí)現(xiàn)了對(duì)電化學(xué)腐蝕法制備微納探針中回路電流切斷時(shí)間的控制。