本發(fā)明涉及用于在擴散阻擋層上的銅膜的粘合增強的材料。已經(jīng)使用現(xiàn)有技術的計算化學技術來鑒定為銅種子層到粘合增進層以及粘合增進層到阻擋層提供良好粘合的粘合增進層材料。已經(jīng)鑒定了導致在各種金屬表面上提供銅層的優(yōu)良粘合的因素以及發(fā)生銅膜附聚的環(huán)境。已經(jīng)預測數(shù)種有前景的基于鉻合金的粘合增進層材料能顯著地增強銅膜的粘合。多齒Β-酮亞胺鹽的含鉻絡合物已被鑒定作為含鉻前體用于制造具有鉻的合金。
聲明:
“用于在擴散阻擋層上的銅膜的粘合增強的材料” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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