亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學分析技術(shù)

> 碳化硅外延片去除外延再生襯底的方法

碳化硅外延片去除外延再生襯底的方法

749   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:52
本發(fā)明公開一種碳化硅外延片去除外延再生襯底的方法,包括:(1)測量外延片的總厚度、平整度最大值以及其外延層上多個點的厚度;(2)計算外延平均厚度、減薄厚度;(3)根據(jù)外延平均厚度,依次通過粗砂輪對外延層進行第一減薄處理以及通過細砂輪對外延層進行第二減薄處理,或者直接通過細砂輪對外延層進行第二減薄處理;(4)通過雙面刷洗機對減薄處理后的外延片的兩面進行沖刷;(5)對多個外延片同時進行至少一次化學機械拋光,以完全去除各外延片的外延層。本發(fā)明的方法能夠加工更高效、精確更高的去除外延層,保留襯底厚度,并提高CMP的加工效率和質(zhì)量,實現(xiàn)不合格外延片再生襯底的重利用。
聲明:
“碳化硅外延片去除外延再生襯底的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
化學分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記