本發(fā)明公開了一種基于超薄二維半導(dǎo)體涂敷石英音叉的吸收光譜氣體傳感器,其特征在于,包括可調(diào)諧激光器(1)、光纖準(zhǔn)直器(2)、氣體池(3)、CaF
2透鏡(4)、石英音叉(5)、低噪聲前置放大器(6)、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)(7)、計(jì)算機(jī)(8)、雙通道DAQ(9)。本發(fā)明提出了一種低成本、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的波長(zhǎng)調(diào)制光譜(WMS)氣體傳感器,采用以甲烷(CH4)氣體為目標(biāo)氣,驗(yàn)證了二維摻鐵氧化鈷涂層QCTF用于光電探測(cè)的可行性;本發(fā)明具有良好的靈活性、化學(xué)穩(wěn)定性和較低成本的優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“基于超薄二維半導(dǎo)體材料涂敷石英音叉的氣體傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)