本發(fā)明公開了一種層數(shù)可控的
石墨烯微納結(jié)構(gòu)快速制備裝置,包括激光控制及聚焦單元、溫度監(jiān)控單元、激光光斑監(jiān)測(cè)單元、真空及流量控制單元、六軸精密平移臺(tái)和氣浮隔振平臺(tái);所述裝置采用激光輔助的化學(xué)氣相沉積的方法實(shí)現(xiàn)石墨烯微納結(jié)構(gòu)快速制備,制備過程可對(duì)制備參數(shù):激光功率,激光光斑大小,基底運(yùn)動(dòng)速度,氣體流量,真空腔腔壓,基底局部溫度場(chǎng)進(jìn)行精密調(diào)節(jié)與監(jiān)控,從而制備出高質(zhì)量石墨烯微納結(jié)構(gòu)。本發(fā)明裝置通過改變制備參數(shù),可改變所合成的石墨烯的層數(shù),實(shí)現(xiàn)層數(shù)可控的石墨烯微納結(jié)構(gòu)的制備;本裝置還可以通過改變聚焦光斑的大小制備出不同線寬的石墨烯微納結(jié)構(gòu)。
聲明:
“層數(shù)可控的石墨烯微納結(jié)構(gòu)快速制備裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)