亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術頻道 >

> 化學分析技術

> 功率器件的制造方法

功率器件的制造方法

672   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:55
本發(fā)明提供一種功率器件的制造方法,提供一形成有IGBT元胞結(jié)構(gòu)的晶圓,IGBT元胞結(jié)構(gòu)包括在形成ILD層之前在晶圓表面形成的氮化硅層;在晶圓的正面形成金屬電極;對晶圓的背面進行Taiko減薄;在晶圓的背面進行離子注入并退火形成集電區(qū);利用化學鍍工藝在金屬電極上鍍上目標金屬;在晶圓背面形成背面金屬層;進行芯片測試;去除晶圓背面的Taiko環(huán)。本發(fā)明通過在形成ILD層之前在晶圓表面形成氮化硅層,使得晶圓背面形成的Taiko環(huán)有氮化硅層保護,解決了IGBT化鍍工藝導致背面金屬脫落的問題,避免了造成晶圓碎片或機臺沾污。
聲明:
“功率器件的制造方法” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
化學分析
全國熱門有色金屬技術推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關注官方微信
中冶有色技術平臺微信公眾號中冶有色技術平臺

最新更新技術

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會
推廣

熱門技術
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記