將反應(yīng)氣體從供應(yīng)源發(fā)放到筒反應(yīng)器的反應(yīng)室以便進(jìn)行化學(xué)汽相淀積的射流組合件,具有一個裝在筒反應(yīng)器上的噴嘴和一個與噴嘴連接的定位裝置,后者可用來使噴嘴相對于筒反應(yīng)器繞樞軸旋轉(zhuǎn),從而改變氣體射流進(jìn)入反應(yīng)室的方向,定位裝置的構(gòu)造成使噴嘴相對于筒反應(yīng)器的位置能夠定量地測出,從而能夠重現(xiàn)地瞄準(zhǔn)噴嘴,以便選擇反應(yīng)氣體射流進(jìn)入反應(yīng)室的方向。
聲明:
“瞄準(zhǔn)筒反應(yīng)器噴嘴的方法和裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)