本發(fā)明公開(kāi)了一種抗潮解摻鉈碘化銫薄膜及其制備方法,屬于閃爍體探測(cè)器技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明首選采用真空熱蒸鍍法在襯底上鍍制摻鉈碘化銫薄膜,然后采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法在摻鉈碘化銫薄膜表面制備納米級(jí)別的二氧化硅薄膜,致密的二氧化硅薄膜能夠有效阻止空氣中水分子進(jìn)入摻鉈碘化銫薄膜,能夠克服摻鉈碘化銫薄膜容易潮解的缺陷,避免了潮解對(duì)摻鉈碘化銫薄膜的光轉(zhuǎn)換效率和空間分辨率等性能指標(biāo)的影響提高了薄膜的抗潮解能力和使用壽命。另外,本發(fā)明處理過(guò)程簡(jiǎn)單,薄膜附著牢固,有利于實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用。
聲明:
“抗潮解摻鉈碘化銫薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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