本發(fā)明是一種
氧化鋁陶瓷基片表面加工方法,該方法包括基片的固定和粘貼,將基片和輔助二氧化硅薄片共同粘貼在陶瓷承載盤上;基片的磨削加工,砂輪以中間進(jìn)給方式磨削基片去除材料;基片的研磨加工,采用固著磨料,去除磨削留下的砂輪??;基片的高速拋光,采用固著拋光丸片對基片進(jìn)行高速拋光;基片的化學(xué)機(jī)械拋光,采用納米二氧化硅拋光液進(jìn)行拋光;基片的拆卸,基片正面加工完成后,將基片從陶瓷承載盤上拆卸下;基片的翻面固定,融化石蠟,將基片翻面同正面一樣固定;基片的反面減薄,將基片最厚位置厚度加工至要求的上限值之上的一個值,通過研磨?測量?研磨循環(huán)步驟精確控制基片的厚度。本發(fā)明方法加工時間短、成品率高、成本低。
聲明:
“氧化鋁陶瓷基片表面加工方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)