本發(fā)明公開了一種
石墨烯/金屬氧化物復(fù)合膜氣體傳感器及其制備方法,屬于微電子機械系統(tǒng)氣體傳感器技術(shù)領(lǐng)域,其目的在于提出一種傳感器,通過以金屬氧化物納米粒子作為催化媒介減小石墨烯薄膜對氣體響應(yīng)時氣體分子電子轉(zhuǎn)移的化學(xué)勢壘,從而增強單一石墨烯薄膜的氣體敏感特性。本發(fā)明基于石墨烯材料優(yōu)異的氣體敏感特性,在叉指電極上優(yōu)先沉積一層納米級的金屬氧化物粒子,再沉積石墨烯薄膜層,通過加熱工藝獲得具有氣體敏感增強效應(yīng)的石墨烯/金屬氧化物復(fù)合薄膜。本發(fā)明適用于氣體傳感器,實現(xiàn)對不同氣體高靈敏度和高選擇性探測。
聲明:
“石墨烯/金屬氧化物復(fù)合膜氣體傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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