本發(fā)明提供了一種微米合金含有等長單個納米孿晶的透射電鏡原位納米壓痕方法,屬于納米孿晶的透射電鏡原位力學(xué)測試領(lǐng)域。采用宏?微?納一體化金剛石刀具,每個刀尖的曲率半徑為40?90nm,刀尖的高度為100?300μm,刀尖形成陣列,布滿刀具表面。用金剛石刀具壓印合金表面,化學(xué)機械拋光方法加工壓印表面,拋光后合金表面粗糙度Ra為0.5?0.9nm。用帶有聚焦離子束的掃描電鏡,原位切割、粘接、轉(zhuǎn)移和離子減薄,樣品長度為5?20μm,高度為4?10μm,厚度50?100nm。用位移控制模式,最大位移為200?1000nm,加載速度10?30nm/s。本發(fā)明實現(xiàn)了單個納米孿晶透射電鏡原位納米壓痕方法。
聲明:
“微米合金含有等長單個納米孿晶的透射電鏡原位納米壓痕方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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