基于中空AFM探針定域電沉積的增材制造裝置及方法,屬于增材制造技術(shù)領(lǐng)域,包括隔振系統(tǒng)、增材制造裝置主體、清洗緩沖液?jiǎn)卧?、精密定位系統(tǒng)、監(jiān)測(cè)系統(tǒng)以及電極單元,本發(fā)明利用中空AFM探針定域電沉積技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)金屬微結(jié)構(gòu)無(wú)掩模高定域性沉積,通過(guò)AFM懸臂的高精度力控制技術(shù)解放了Z軸高定位精度的壓力,解決了高移動(dòng)位移精度與防治堵塞和短路的耦合矛盾,真正意義上實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)金屬三維懸臂結(jié)構(gòu)的正向微增材制造,通過(guò)定域
電化學(xué)技術(shù)整合微流體技術(shù)與AFM探針技術(shù),完成電場(chǎng)定域性向給液定域性的轉(zhuǎn)變,改變了無(wú)限縮小陽(yáng)極尺寸的不切實(shí)際的想法,從而更加容易的實(shí)現(xiàn)了高定域性沉積。
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“基于中空AFM探針定域電沉積的增材制造裝置及方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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