本發(fā)明涉及探測(cè)器級(jí)的高純鍺多晶制備工藝以及該工藝的專(zhuān)用設(shè)備,該工藝包括原料鍺錠及區(qū)熔設(shè)備的清洗以及區(qū)熔提純兩個(gè)部分;該專(zhuān)用設(shè)備包括底座、小車(chē)軌道、小車(chē)、石英管及石英管支架,原料鍺錠放置于石英管內(nèi),所述小車(chē)上固定有高頻加熱線圈,該高頻加熱線圈為寬度1～3cm的雙層線圈,并環(huán)繞于所述石英管外部。本發(fā)明反應(yīng)物及區(qū)熔設(shè)備均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的物理及化學(xué)清洗,清洗液純度高,且反應(yīng)過(guò)程始終在超凈工作臺(tái)內(nèi)進(jìn)行,對(duì)反應(yīng)物、反應(yīng)環(huán)境純度要求高,為制出高純度的產(chǎn)品提供了先決條件,區(qū)熔過(guò)程采用窄熔區(qū)結(jié)構(gòu)移動(dòng)加熱區(qū)熔,使其熱量集中,大大提高區(qū)熔過(guò)程中雜質(zhì)的分凝效果,提高純化的效率,且經(jīng)過(guò)反復(fù)多次區(qū)熔,進(jìn)一步提高產(chǎn)品純度。